EP 电解抛光同轴套管

一、基础产品参数

产品名称：EP 电解抛光同轴套管 产品分类：半导体系列超高纯气体管路配件 材质：316L VAR 真空电弧重熔不锈钢，低碳低硫低杂质 表面处理：EP 电解镜面抛光，内壁粗糙度 Ra≤0.25μm，致密钝化膜 执行标准：SEMI、ASME BPE 超高纯流体管件标准 工艺：无缝一体管材，内外壁均匀抛光无毛刺、无凹凸台阶 常规规格：1/4"~2" 标准尺寸，支持非标长度定制 连接端口：两端自动焊坡口，适配全自动轨道焊接 防护配置：出厂两端蓝色防尘塑料帽，隔绝粉尘水汽 承压能力：最高 160bar，适配半导体高压高纯供气系统

二、结构特点

1. 同轴直通式平滑内壁，无焊缝、无死角，气流顺畅无涡流积尘；
2. 整体无缝管材成型，无拼接缝隙，杜绝介质残留与金属微粒析出；
3. 内外壁同步电解抛光，耐硅烷、氯化氢、氨气等各类腐蚀性电子特种气体；
4. 标准统一坡口，焊接成型均匀，焊缝氧化层少，洁净度易管控。

三、核心优势 

1. 超高洁净度：VAR 高纯基材 + EP 镜面内壁，微粒释放量极低，满足晶圆制造无尘等级；
2. 强耐腐蚀性：电解抛光钝化层稳定，适配易燃易爆、强腐蚀工艺特种气体；
3. 管路易吹扫：直通光滑内壁无滞留死角，气体切换后快速吹扫干净；
4. 高压密封可靠：一体无缝结构抗压强度高，轨道焊接后氦检漏无泄漏；
5. 无尘运输防护：两端密封防尘帽，仓储、运输全程避免内壁二次污染。

四、适用行业场景

1. 半导体芯片制造：刻蚀、薄膜沉积、扩散设备高纯特种气体输送管路；
2. 光伏、锂电池新能源产线电子级惰性 / 腐蚀气体分配系统；
3. 科研实验室超高纯特种气体管线；
4. 电子特种气体工厂充装、分输配套高纯管路。

五、安装使用规范 

1. 仅在百级洁净车间拆除两端防尘帽，未装配前不可取下防护；
2. 焊接必须使用全自动轨道焊机，禁止手工焊接，防止内壁氧化积碳；
3. 腐蚀气体管路装配完成后，高纯氮气长时间吹扫并执行全管路氦检漏；
4. 存放环境需密闭干燥无尘，避免潮湿空气接触管件内壁。