EP 电解抛光异径管

一、基础参数

产品名称：EP 电解抛光异径管（偏心 / 同心变径） 分类：半导体系列超高纯特种气体管路配件 材质：316L VAR 真空电弧重熔不锈钢，低硫低碳，杂质含量极低 表面工艺：EP 电解镜面抛光，内壁粗糙度 Ra≤0.25μm，钝化膜致密均匀 执行标准：SEMI 半导体标准、ASME BPE 超高纯流体管件标准 成型工艺：无缝一体拉伸成型，无内部焊缝，过渡曲面平滑无台阶 规格范围：1/4"~2" 标准管径，任意大小口径配比均可非标定制 连接端口：两端自动焊坡口，适配全自动轨道焊接设备 防护配置：出厂两端蓝色防尘塑料保护帽，隔绝粉尘、水汽污染 承压性能：最高 160bar 高压耐受，适配半导体高压供气工况

二、结构特点

1. 平滑渐变锥面过渡，气流无涡流、无凹陷死角，不会滞留微粒；
2. 一体无缝冲压成型，无拼接缝隙，杜绝介质残留、金属离子析出；
3. 内外壁同步电解抛光，耐硅烷、氯化氢、氨气等强腐蚀电子特种气体；
4. 标准统一焊接坡口，轨道焊接成型稳定，焊缝氧化层少，洁净度易管控。

三、核心优势 

1. 超低微粒释放：VAR 高纯基材搭配 EP 镜面内壁，洁净等级满足晶圆制造严苛无尘需求；
2. 优异耐腐蚀性：电解抛光钝化层稳定，适配各类易燃易爆、腐蚀性工艺气体；
3. 管路易吹扫：光滑渐变内壁无滞留区域，切换气体后可快速吹扫洁净；
4. 高压密封性强：整体无缝结构抗压强度高，轨道焊接后氦检漏零泄漏；
5. 全程无尘防护：两端密封防尘帽，仓储、运输过程避免内壁二次污染。

四、适用行业场景

1. 半导体芯片制造：刻蚀、薄膜沉积、扩散设备高纯特种气体管路变径转接；
2. 光伏、锂电池新能源产线电子级惰性、腐蚀气体分配系统；
3. 科研实验室超高纯特种气体输送管线；
4. 电子特种气体工厂充装、分输配套高纯管路。

五、安装使用规范 

1. 仅在百级洁净车间拆除两端防尘，装配前不得取下防护；
2. 焊接必须采用全自动轨道焊机，禁止手工焊接，防止内壁氧化积碳；
3. 腐蚀性气体管路装配完成后，高纯氮气长时间吹扫并做全管路氦检漏；
4. 存放环境需密闭干燥无尘，避免潮湿空气接触管件内壁。