产品概述
气动双作用真空摆阀阀体采用 304 不锈钢整体锻造精加工，内壁电解镜面抛光，搭配双作用气动驱动机构，摆动式阀板结构，专为高真空、超高真空管路设计。双作用气缸开关响应迅速，阀座采用低放气氟橡胶密封，漏率极低，适用于半导体、光伏镀膜、真空腔体大口径管路快速通断。
核心优势
- 双作用气动气缸，开关速度快，启闭稳定，可搭配电磁阀、位置反馈开关实现全自动远程控制；
- 大口径通径设计，流阻极小，无介质滞留，内壁镜面抛光，出气量低，满足超高真空洁净工况；
- 摆动式阀板结构，占用轴向安装空间小，适配紧凑真空设备机组；
- 全不锈钢阀体 + 真空专用密封件，耐高低温、弱腐蚀气体，密封持久不易老化；
- 支持法兰、ISO 标准连接，多规格大口径现货，可定制执行器、密封材质、安装接口。
适用行业
半导体芯片设备、光伏镀膜生产线、光学真空腔体、锂电高真空封装、科研实验室超高真空系统
