角式挡板阀可手动或气动驱动丝杆,带动阀杆升降实现阀座启闭,以此导通、切断真空管路气流。阀体提供 90° 直角 L 型、45°Y 型两种结构;连接端口支持 KF、ISO、CF 标准真空法兰与管道焊接端头,适配各类高真空系统。 该阀门专为高真空工况设计,适配压强区间 1×10⁻¹Pa~1.2×10⁻¹Pa,密封漏率低至 1.3×10⁻¹Pa・L/s。手动款无需自动化配套,广泛用于粗抽管路、高真空前级管路,也可作为真空腔体泄压阀。 本系列角阀适配多行业高端真空设备,覆盖半导体制造、等离子物理实验、核加速器等场景。
半导体生产设备、等离子物理实验室、核加速器装置、真空镀膜设备、锂电真空腔体、科研真空测试平台
