单级高纯气体减压阀

产品简介

单级高纯减压阀专为高纯特种气体调压设计，整体 316L VAR 不锈钢打造，阀体内部电解抛光处理，杜绝颗粒物污染气体。膜片与阀体采用金属硬密封结构，大幅降低泄漏风险，可安全用于腐蚀性、有毒工艺气体，支持背装、面板嵌入两种安装方案，广泛配套半导体、实验室分析设备供气系统。

核心优势

1. 316L VAR 真空电弧重熔不锈钢，耐酸碱腐蚀，适配各类特种气体
2. 全金属硬密封膜片，微泄漏、耐高温，使用寿命更长
3. 内腔电解抛光，内壁光滑无吸附，维持超高气体洁净度
4. VSM4 标准压力表接口，搭配双压力表直观显示进出口压力
5. 两种安装规格，可集成设备面板，也可管路背装，适配多种设备布局

适用行业

半导体制造、光伏电子、实验室色谱仪器、生物医药、特种化工、高纯特种气体输送

产品：单级高纯气体减压阀（Single-stage Pressure Reducing Valve / High-purity pressure reducer）

材质：阀体 316L / 316L VAR 不锈钢，不锈钢膜片，内部电解抛光

密封结构：金属硬密封膜片式结构，泄漏率极低 安装方式：背装式、面板嵌入式两种可选

压力表接口：标准 VSM4 接口

性能：稳压输出平稳，适配高纯洁净气体 适配介质：惰性无腐蚀气体、腐蚀性特种气体、有毒工艺气体

优势：金属硬密封安全耐用，低泄漏；内壁电解抛光无杂质析出，保障气体纯度；两种安装方式适配实验室 / 半导体设备

适用：半导体晶圆、实验室分析仪器、特种化工、电子高纯供气管路